陶瓷烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备，可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它具有设计新颖、操作方便、结构紧凑等优点。它可以在一台设备上完成多个工艺流程。

　　陶瓷烧结炉的结构说明：

　　1、本电炉为立式真空电炉，由炉盖、炉体、炉底和真空机组组成，炉壳内层是不锈钢，外层是碳钢，两层之间用循环水冷却。炉壳上设有抽气口、观察孔、热电偶孔、保护气氛进出口、防爆

　　口等。发热元件采用钨丝发热，发热体的周围有多层钨片、钼片和不锈钢组成的隔热屏装置。炉底是由内外板焊接而成，中间水冷。可上下升降方便装卸料。

　　2、发热体：采用三相钨笼网状式结构，散发热量平稳均匀，使炉内温度均匀性较好，生产效率高，耐用性能强，新型结构使用寿命长，变形小和特别节能等。有效的使烧结样品更美观均匀透彻。真空钨丝炉内部的钨丝网发热体采用了*的制作工艺，可大大降低能耗，发热体外采用全金属隔热屏保温。专有技术设计的保温层，炉温均匀性佳，变形小，使用寿命长。

　　3、隔热屏：由多层金属板专业制造，加工设备也提高技术，使隔热屏加以固定，不容易变形，更有助于隔热性能的提高及均匀性，还有效的防止热量向外辐射传导，更有助于真空度和清洁度的要求有很高的环境使用。同时高真空陶瓷烧结炉已成功得到用户满意的认可、验收及更高的肯定。